CELERITY, FC-280SAV, Mass Flow Controller (MFC)/질량 유량 제어기, 기체 질량 유량계, 가스 질량 유량계, 반도체 부품
Equipment List
CELERITY, FC-280SAV, Mass Flow Controller(MFC)
안녕하세요.
중고 반도체, 연구 장비, 각종 산업 장비 및 부품을 거래하는 세미스토리 입니다.
오늘 소개해드릴 장비는 반도체 제조공정에서 꼭 필요한 MFC 장비 입니다.
MFC(Mass Flow Controller, 질량 유량 제어기)는 기체의 흐름을 정밀하게 제어하는 장비로
반도체, 디스플레이, 화학, 제약 등 다양한 산업 공정에서 사용됩니다. 설정된 유량에 맞춰 실제 기체의 흐름을
정밀하게 조절하며 질소, 산소, 수소 등 다양한 가스에 대응할 수 있습니다. 내부에는 유량 센서, 제어 밸브, 전자 회로 등이 내장되어 있어 실시간으로 유량을 측정하고 자동으로 조절합니다. 디지털 또는 아날로그 신호로 외부에서
제어가 가능하며 온도와 압력 변화에도 정확한 유량을 유지하도록 보정 기능이 탑재되어 있습니다.
MFC는 주로 반도체 CVD나 식각 공정, OLED 제조, 수소 연료전지, 제약 공정 등에서 사용되며
정기적인 교정과 유지보수가 필요한 고정밀 장비입니다.
[EQUIPMENT SPEC]
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ID
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Refer to the below
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Equipment
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Mass Flow Controller (MFC)
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Description
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Refer to the below
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Maker
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CELERITY
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Model
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FC-280SAV
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Vintage
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Unknown
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Condition
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As-is
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Quantity
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9
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해당 모델의 MFC는 9개 재고 보유중입니다.
동일한 모델이어도 지원하는 스펙이 다르니 아래 표를 참고하여 원하시는 모델이 있으시다면
ID 번호를 말씀주시면 답변 드리겠습니다 :)
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ID
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Gas
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Range
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Operating Pressure
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199240139
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HE
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5 SLM
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10-40 PSID
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199240140
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H2
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10 SLPM
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10-40 PSID
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199240141
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HE
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200 SCCM
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30 PSI
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199240142
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HE
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5 SLPM
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10-40 PSID
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199240143
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HE
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10 SLPM
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10-40 PSID
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199240144
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HE
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200 SCCM
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40 PSID
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199240145
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HE
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5 SLM
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10-40 PSID
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199240146
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HE
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10 SLM
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10-40 PSID
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199240147
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HE
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5 SLPM
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10-40 PSID
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현 장비는 화성 공장에서 둘러보실 수 있으며,
위 장비에 관심이 있으시거나 기타 문의 사항이 있으실 경우
언제든지 연락 부탁 드립니다.
(찾으시는 장비가 없으실 경우, 대체 장비 소개도 가능합니다)
세미스토리는 글로벌 네트워크를 바탕으로 반도체 중고 장비 매입/매각을 전문으로 하며,
연간 수 백 대의 장비를 거래하는 플랫폼 비즈니스를 운영하고 있습니다.
수원 본사를 거점으로 장비를 보관하는 공장을 보유하고 있습니다.
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