Equipment List
SESHIN Tech, G450C, ASC-LEC
(Automatic Surface Cleaning-Low Energy CVD)
안녕하세요.
중고 반도체, 연구 장비, 각종 산업 장비 및 부품을 거래하는 세미스토리 입니다.
오늘 소개해드릴 장비는 당사에서 보유중인 Wet 장비입니다.
(해당 장비는 급매 장비이므로, 저렴한 금액에 장비를 판매하고자 합니다. 가격은 협의로 진행됩니다.)
ASC-LEC (Automatic Surface Cleaning-Low Energy CVD) 장비는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면의
오염을 자동으로 제거하는 표면 세척 기능과, 저에너지 환경에서 고품질의 박막을 증착하는 화학 증착(CVD) 기능을 결합하여,
효율적으로 공정 시간을 단축하고 에너지 소비를 절감하며, 정밀한 표면 처리와 박막 증착을 통해 반도체 기판의 품질을 향상시키는 장비입니다.
자동 표면 세척 (Automatic Surface Cleaning)기능은 반도체 제조에서 웨이퍼의 표면에 불순물이나 오염물이
존재할 경우 기판의 성능에 부정적인 영향을 미칠 수 있기 때문에 자동화된 표면 세척 기능을 통해 웨이퍼 표면의 오염물질을 제거합니다.
특정 화학 물질이나 플라즈마를 사용하여 웨이퍼 표면을 정밀하게 청소하고, 미세한 입자나 불순물들이 남지 않도록 처리합니다.
저에너지 화학 증착 (Low Energy CVD)기능은 고에너지 환경이 필요한 전통적인 CVD 공정과 달리 ASC-LEC는 저에너지 환경에서
화학 증착을 수행합니다. 웨이퍼의 열적 스트레스를 줄이고, 고온에서 발생할 수 있는 불필요한 반응을 피할 수 있습니다.
또한, 에너지 소비를 절감하는 장점이 있습니다.
[EQUIPMENT SPEC]
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ID
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199220261
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Equipment
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ASC-LEC (Automatic Surface Cleaning-Low Energy CVD)
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Description
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Wafer 450mm
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Maker
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SESHIN Tech
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Model
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G450C
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Vintage
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2014.12.31
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Condition
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As-is
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Quantity
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1
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현 장비는 화성 공장에서 둘러보실 수 있으며,
위 장비에 관심이 있으시거나 기타 문의 사항이 있으실 경우
언제든지 연락 부탁 드립니다.
(찾으시는 장비가 없으실 경우, 대체 장비 소개도 가능합니다)
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